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硅片硅料烘箱

硅材料烘箱可用于多晶硅物料、单晶硅物料、碳化硅物料的一般干燥或是经过水洗后脱水烘干。硅料烘箱的内部材料主要采用优质不锈钢板制作,箱内设置一套鼓风系统,热风在箱内循环,温度均匀。故也称为热风循环烘箱。不锈钢内胆为烘干物料提供无污染的无尘、洁净环境,硅料烘箱的实用寿命增长。

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